SEMI 标准体系架构

SEMI标准体系是针对全球半导体与电子制造产业所建立的技术标准架构，其涵盖范围从材料、设备、通讯协议、

安全、设施、封装、物流到智能制造等，是产业链协同运作的基础。

SEMI系列标准

SEMI S1： 设备安全标签安全准则

SEMI S2： 半导体制造设备之安全卫生及环保准则

SEMI S3： 制程液体加热系统安全准则

SEMI S6： 半导体制造设备排气通风准则

SEMI S8： 半导体制造设备人因工程之安全准则

SEMI S10： 风险评估及风险估算过程之安全准则

SEMI S12： 设备除污准则

SEMI S13： 制造设备予用户文件之安全卫生及环境准则

SEMI S14： 半导体制造设备火灾风险评估与降低之安全准则

SEMI S22： 半导体制造设备电气安全设计准则

SEMI S28： 针对预计应用于半导体生产设备之机器人与之安全指导方针

SEMI F47： 半导体加工设备电压瞬降应变能力准则

SEMI E187： 半导体晶圆设备资安标准

SEMI E188： 恶意软件攻击防护标准